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电子清洗超纯水需要达到的标准是?

文章出处:作者:发表时间:2013-08-06 16:45:02

  电子行业生产过程中,需要采用达到国家级标准的电子清洗超纯水来清洗产品,提高产品的质量,因此电子清洗超纯水需要达到以下标准:

电子级超纯水中国国家标准(GB/T11446.1-1997

项目

级别

比电阻 MΩ.cm@25

硅 ≤ μg/L

>1μm微粒数 < /ml

细菌个数/ml

铜≤μg/L

锌≤μg/L

镍≤μg/L

钠≤μg/L

钾 ≤ g/L

氧≤ μg/L

硝酸根≤
μg/L

磷酸根≤
μg/L

硫酸根 ≤μg/L

总有机碳≤μg/L

EW-

1895%的时间不低于17

2

0.1

0.001

0.2

0.2

0.1

0.5

0.5

1

1

1

1

20

EW-

1595%的时间不低于13

10

5

0.1

1

1

1

2

2

1

1

1

1

100

 

中国国家电子级超纯水GB/TII446.11997标准

 指标级别

 EW-Ⅰ

 EW-Ⅱ

EW-Ⅲ 

EW-

电阻率 MΩ,cm(25)

18以上,(95%时间)不低于17

15,(95%时间)不低于13

 12.0   

0.5   

全硅,最大值,μg/L

2

10

50

1000

1μm微粒数,最大值,个/mL

0.1

5

10

500

 细菌个数,最大值,个/mL

0.01

0.1

10

100

 铜,最大值,μg/L

0.2

1

2

500

 锌,最大值,μg/L

0.2

1

5

500

 镍,最大值,μg/L

0.1

1

2

500

 钠,最大值,μg/L

0.5

2

5

1000

 钾,最大值,μg/L

0.5

2

5

500

 氯,最大值,μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 磷酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 硫酸根,最大值,μg/L

1

1

5

500

 总有机酸,最大值,μg/L

20

100

200

1000