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电子清洗超纯水设备水质标准解读

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2016-02-19 08:33:31

  清洗半成品、成品、集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对电子清洗超纯水设备工艺及清洗超纯水设备的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

超纯水设备

  电子清洗超纯水设备工艺流程

  1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

  2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

  3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)

  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)

  5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

超纯水设备

  超纯水水质标准

  我公司电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

超纯水设备

  电子清洗超纯水设备安全性好,不燃烧,不爆炸,基本无毒,操作简单。莱特莱德超纯水设备公司为客户提供高性价比的超纯水设备,广泛应用于电子、化工、有机玻璃、电镀、超音波清洗等众多领域。

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