微电子生产用超纯水设备应用领域

　　微电子行业的生产加工离不开超纯水的使用，微电子生产用超纯水设备针对这一行业用水需求，采用反渗透和EDI相结合的制水工艺，有效去除水中的导电离子，电阻率可以达到18兆欧以上。

　　微电子生产用超纯水设备工艺流程

　　1、采用离子交换方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点

　　2、采用两级反渗透方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　3、采用高效反渗透加EDI方式，其流程如下：自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

　　微电子生产用超纯水设备应用领域

　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。

　　2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。

　　3、实验室和中试车间用超纯水。

　　4、汽车、家电表面抛光处理。

　　5、光电子产品。

　　6、其他高科技精微产品。

　　微电子生产用超纯水设备采用PLC可编程控制器，真正实现了无人值守，与市场上同类产品具有更高的性价比，出水水质完全满足电子行业用水需求。