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微电子生产用超纯水设备应用领域

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2016-02-25 15:29:58

  微电子行业的生产加工离不开超纯水的使用,微电子生产用超纯水设备针对这一行业用水需求,采用反渗透和EDI相结合的制水工艺,有效去除水中的导电离子,电阻率可以达到18兆欧以上。

超纯水设备

  微电子生产用超纯水设备工艺流程

  1、采用离子交换方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点

  2、采用两级反渗透方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

  3、采用高效反渗透加EDI方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

  微电子生产用超纯水设备应用领域

  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。

  2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。

  3、实验室和中试车间用超纯水。

  4、汽车、家电表面抛光处理。

  5、光电子产品。

  6、其他高科技精微产品。

超纯水设备

  微电子生产用超纯水设备采用PLC可编程控制器,真正实现了无人值守,与市场上同类产品具有更高的性价比,出水水质完全满足电子行业用水需求。