微电子工业用超纯水设备功能说明

　　微电子工业用超纯水设备采用RO反渗透+EDI或混床抛光技术，根据不同用户的需要，定制设计不同产水水质要求和不同产水流量要求的超纯水设备，制备的超纯水完全符合实验室用水标准。对于如微电子工业等领域的特殊要求。

　　微电子工业用超纯水设备制备工艺

　　1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

　　2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

　　3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

　　4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

　　5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

　　微电子工业用超纯水设备功能说明

　　1、在线检测并显示超纯水电阻率。

　　2、一机两用，可同时取用三级水和纯水/超纯水，水质及水量均可升级。

　　3、产品小型集成化、模块化、快接式内部设计，方便安装维护，占地面积小，外形美观。

　　4、选用进口静音泵，系统运行时无震动、无噪音、无电磁辐射，对工作环境无影响。

　　5、美国高容量树脂深度抛光纯化处理技术，提高离子交换系统的总交换量，延长耗材寿命。

　　6、数字化液晶水质显示，全自动化制水，停水或水压不够，系统自动断电保护同时视听报警，多重安全保护。

　　7、外观时尚：微电子工业用超纯水设备采用高档ABS材料开膜精加工，工艺精湛，线条流畅精美。