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微电子工业用超纯水设备功能说明

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2016-02-06 13:54:34

  微电子工业用超纯水设备采用RO反渗透+EDI或混床抛光技术,根据不同用户的需要,定制设计不同产水水质要求和不同产水流量要求的超纯水设备,制备的超纯水完全符合实验室用水标准。对于如微电子工业等领域的特殊要求。

超纯水设备

  微电子工业用超纯水设备制备工艺

  1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

  2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)

  3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)

  4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

  5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)

超纯水设备

  微电子工业用超纯水设备功能说明

  1、在线检测并显示超纯水电阻率。

  2、一机两用,可同时取用三级水和纯水/超纯水,水质及水量均可升级。

  3、产品小型集成化、模块化、快接式内部设计,方便安装维护,占地面积小,外形美观。

  4、选用进口静音泵,系统运行时无震动、无噪音、无电磁辐射,对工作环境无影响。

  5、美国高容量树脂深度抛光纯化处理技术,提高离子交换系统的总交换量,延长耗材寿命。

超纯水设备

  6、数字化液晶水质显示,全自动化制水,停水或水压不够,系统自动断电保护同时视听报警,多重安全保护。

  7、外观时尚:微电子工业用超纯水设备采用高档ABS材料开膜精加工,工艺精湛,线条流畅精美。

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