电子超纯水中各项杂质的测定方法

　　电子超纯水在制备过程中需要先对水质进行测量，然后根据水质特性采用不同处理工艺。

　　金属元素的测定

　　高纯物质中金属元素的测量已有数十年的历史，广泛应用的分析技术是发射光谱法，原子吸收分光度法，分光光度法及质谱法与伏安法等，近年来离子选择性电极法也用于电子超纯水(特殊要求下的实验室超纯水等)的分析。中子活化法与质谱法也有应用，但由于分析仪器昂贵且分析条件要求高，使其应用受到了限制。

　　颗粒的测定

　　高经不消中颗粒的测定主要用激光散射式测量法和过滤检数法。前一种方法可以适用于在线测量和实验室测量，现已可进行0.05μm颗粒的检娄;后一种方法是实验室测定方法，用于检测超纯水处理中料子尺寸大于0.1μm的粗分散系与部分胶态分散系的颗粒物质。还有一种过滤比时法也比较常用，适用于原水和预脱盐工序的颗粒性物质的相对测量。

　　有机物的测定

　　纯水中有机物的测定方法沿用了原水中的分析方法，即用高锰酸钾和重铬酸钾来测定有机物的含量，此法称为化学耗氧量法，它仅能反映水中可被氧化的有机物的含量。高锰酸钾氧化法测定结果较低，适用于洁净水体和纯水中有机物的相对测量，重铬酸钾法氧化能力较高，一般适用于受污染的水体。

　　总有机碳测定技术分为高温干式氧化法及低温湿式氧化法。干式氧化法是在高潮(800℃)通往氧进行氧化，其检测范围为1-200mg/L。温暖式氧化法是在常温和紫外线催化下，以过硫酸盐氧化有机物，生成的二氧化碳可用红外线测定仪或水吸收后用电导法测定。高纯水中有机物的测定应该用总有机碳法，并且建议使用湿式氧化法，因为此法空白低，可检测微克/升级的有机碳，比高温氧化法的检测范围低两外委会素服，适用于电子级用水中有机物的测定。

　　细菌的测定

　　培养法是测量水体内细菌的常用方法，包括过滤培养法、平皿培养法和测菌盒法。前两种方法适用于超纯水中细菌的测定;后一种方法则主要适用于对原水中细菌的分析，此法简便、快速、可就地取样。培养法只能清风两袖部分活的细菌，有些细菌在溅上，不生成或尚未生成菌落，因而不能检出。另外，过滤检数法也可用于细菌的测定，它活动了斩培养过程，更为迅速简便。

　　细菌内毒素的测定 译意风分光光度法、浊度法和凝胶法。分光光度法分析操作都比较烦琐，且耗时长、费用高。而凝胶法灵敏、准确可靠、操作简单且易推广。