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超纯水设备助力半导体产业全面复苏

2023-01-19

  目前全球电子和半导体产业开始走向稳定的复苏和增长,在汽车、5G通信、数据中心等关键市场,已经出现了比较明显的快速增长迹象。

  用于半导体器件加工的硅片对纯度有极高的要求,通常要达到99.999999999%。在半导体制造过程中,50%以上的工序直接与超纯水接触,需要化学处理的工序达80%以上,而化学处理后的超纯水中的杂质会进入硅片,如引入过多杂质,就会导致器件性能下降,影响产品性能因此,制备高质量的超纯水已成为大规模集成电路发展的重要前提。

超纯水设备

  传统的超纯水生产工艺采用阴离子树脂交换设备,在使用一段时间后要经常进行树脂再生。随着膜分离技术的不断成熟,莱特莱德超纯水设备设计了可靠、成熟、自动化程度高的两级RO+EDI+抛光混床水处理工艺,保证了处理后的超纯水水质符合要求,水的利用率高,运行可靠,经济合理,大大节省了人力成本和维护成本,与其他同类产品相比,具有较高的性价比和设备可靠性。

  莱特莱德超纯水设备可以连续稳定地制备高质量的超纯水,不会因为树脂再生而停止运行,设备内部还安装了反渗透预脱盐技术,这又从根本上保证了设备的出水质量,具有较高的环境和经济效益,发展前景广阔。

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