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微电子行业超纯水设备工艺组成

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2016-01-08 13:06:36

  微电子行业在生产过程中需要大量的超纯水,我们生产的超纯水设备出水电阻率可达到18兆,可为客户提供先进的超纯水生产方案,充分满足了微电子行业用水标准。

超纯水设备

  微电子行业超纯水设备工艺组成

  1、原水箱

  超纯水设备原水箱是用来储存自来水,设置有浮球开关,防止无水损坏增压泵,以及预处理罐。原水箱一般采用PE水箱,或不锈钢材质。

  2、原水泵

  原水泵是从原水箱内把水抽出,供应给预处理,经过预处理过滤在供给反渗透。我公司采用的原水泵质量性能都能保证。

超纯水设备

  3、絮凝剂

  絮凝剂主要是带有正(负)电性的基团中和一些水中带有负(正)电性难于分离的一些粒子或者叫颗粒,降低其电势,使其处于稳定状态,并利用其聚合性质使得这些颗粒集中,并通过物理或者化学方法分离出来。

  4、石英砂过滤器

  石英砂过滤器是用玻璃钢罐、或不锈钢、碳钢罐填装精致石英砂,然后用压力把自来水或地表水打入罐体内,从而去除水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子。

  5、活性炭过滤器

  活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、铁氧化物、余氯。这是因为有机物、余氯、铁氧化物易使离子交换树脂中毒,而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒,还会破坏膜结构,使反渗透膜失效。

超纯水设备

  6、阻垢剂

  反渗透阻垢剂主要用于超纯水设备反渗透膜,主要防止反渗透膜表面结垢,从而保护反渗透膜,保持超纯水水质。工作原理:反渗透阻垢剂溶于水后发生电离,生成带负电性的分子链,与Ca2+形成可溶于水的络合物或螯合物,从而使无机盐溶解度增加,起到阻垢作用。

  7、保安过滤器

  保安过滤器装置在预处理后面,反渗透膜前面,有不锈钢材质或塑料材质,内置精密滤芯,有过滤精度5um的和过滤精度1um的,根据设计要求选定。

  我公司微电子行业超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

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