超纯水系统的典型工艺流程

　　一套完整的超纯水系统通常由预处理、反渗透、精脱盐和终端抛光几个部分组成，各段分工明确，前一段为后一段创造合格的进水条件。下面按水流顺序说明各段的作用。

　　预处理的任务是把原水处理到反渗透可以接受的水平。常见配置包括多介质过滤、活性炭过滤或软化、加药阻垢、精密过滤器。多介质过滤去除悬浮物和胶体，活性炭吸附余氯和有机物，软化或阻垢剂防止反渗透膜结垢，五微米左右的保安过滤器拦截细小颗粒，保护反渗透膜元件。预处理出水的浊度和余氯控制好坏，直接影响后段膜元件的寿命。

　　反渗透是系统的主要脱盐环节。卷式反渗透膜在压力下把进水中大部分盐分、有机物和微粒截留在浓水侧，一级反渗透出水电导率通常降到较低水平。对某些原料水，会采用二级反渗透，或在两级之间设置脱碳塔去除二氧化碳，减轻后续脱盐负荷。反渗透产水存入中间水箱，经输送泵加压后进入下段。

　　精脱盐环节多采用 EDI。反渗透出水进入 EDI 膜堆，在直流电场下把残余离子进一步脱除，出水电阻率可接近高纯水要求。EDI 后面常接抛光混床或终端超滤，把残余离子和颗粒再降一档，使水质达到电子级用水指标。

　　系统末端包括洁净循环管路、终端抛光和用水点设置。超纯水在管道中停留会因溶入二氧化碳、溶出管道材质而水质下降，所以管网通常设计成小流量循环，并在用水点前设置终端纯化单元和紫外处理。整个流程的设计要点，是让每一段都在其适宜的进水区间内运行，而不是指望某一段承担全部脱盐任务。

　　自动化方面，整套系统由控制器统一管理，监测各段压力、流量、电导率和液位，泵与阀门按程序联动。反渗透浓水视情况回收或排放，水的整体利用率与浓水处理成本需要平衡。用水低谷时管网保持循环流动，用水高峰时由循环泵稳压供水。流程设计还要留好扩展余量，后续产能增加时可以并联增加 EDI 模块，而不必把前段推倒重建。

　　各段之间的中间水箱和输送泵也值得一提。中间水箱起水量调节作用，避免系统随用水波动频繁启停;输送泵保证反渗透和 EDI 的进水压力稳定。这些辅助单元虽然不直接脱盐，却影响整个系统的连续运行和参数稳定，设计时不应省略。