在芯片制造领域,每一步工艺的精准度都直接决定产品的良率与性能,而超纯水作为芯片生产中不可或缺的“工业血液”,其纯度要求高——水中任何微小杂质、离子都可能导致芯片电路短路、性能衰减,甚至直接报废。随着芯片制程向纳米级进阶,对超纯水的水质标准提出了严苛的要求,莱特莱德深耕超纯水领域多年,凭借创新工艺与核心技术,推出适配芯片生产的超纯水设备,为“芯”制造保驾护航。
传统芯片生产所用超纯水多采用离子交换树脂工艺制备,虽能满足基础水质需求,但存在明显短板:树脂需定期再生,不仅耗费大量化学材料与人力成本,再生过程中产生的废液还会造成二次污染,且出水水质稳定性不足,难以适配高端芯片的生产需求。针对这一行业痛点,莱特莱德经过长期实践与技术迭代,将膜分离技术与传统工艺深度融合,采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合的核心工艺,彻底破解传统工艺的局限。

莱特莱德超纯水设备的核心优势体现在工艺创新与品质可控上。该设备采用全膜法工艺,先通过反渗透技术截留水中的溶解盐类、胶体、微生物及有机物,实现深度脱盐;再通过EDI电去离子技术进行深度精处理,无需酸碱再生即可连续去除水中残余微量离子,既降低了运行成本,又避免了化学污染。设备搭载PLC智能控制系统,可实现全自动运行、自动启停与在线水质监测,配备的电阻率监测仪与TOC检测仪,能实时监控水质波动,确保出水稳定性。
在水质标准上,莱特莱德超纯水设备出水水质严格符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质Type E-1.3标准,电阻率可达18 MΩ·cm(25℃),水中颗粒物、TOC等指标均达到高端芯片生产要求,可广泛应用于晶圆清洗、蚀刻、光刻等芯片生产关键工序,有效防止杂质污染,提升芯片良率。同时,设备采用模块化紧凑设计,占地面积小,可根据芯片生产规模灵活定制,适配不同厂房布局需求。
深耕行业多年,莱特莱德凭借自主研发的核心膜技术与完善的全流程服务,已为多家半导体企业提供超纯水解决方案,其设备运行可靠、能耗低、运行成本低,且无废液排放,符合绿色生产理念。如今,芯片产业竞争日趋激烈,莱特莱德超纯水设备以稳定的性能、严苛的水质控制与高效的环保优势,成为芯片制造企业降本增效、提升核心竞争力的重要支撑,用纯净科技助力我国芯片产业高质量发展。

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