硅晶圆超纯水设备抛光混床常见故障

2025-12-09

　　抛光混床是硅晶圆超纯水设备的核心单元，负责提升水质纯度，其运行状态直接影响出水质量。实际使用中，受进水水质、运行方式等因素影响，易出现多种故障，需精准识别并妥善处理。

　　树脂性能衰减是高频问题。长期运行后，树脂吸附能力下降，会导致出水电阻率降低、TOC超标，无法满足硅晶圆清洗的高水质要求。这多与进水预处理不彻底，杂质累积污染树脂有关，也可能是树脂使用周期过长自然老化所致。

　　树脂混合不均与乱层也较常见。混合不均易导致设备内部水流偏流，出水水质波动大;若运行中压力骤变或反洗操作不规范，会造成树脂层乱层，进一步加剧出水不稳定。日常需做好进水预处理，定期监测树脂性能，规范反洗流程，及时处置故障以保障设备稳定。