在芯片制造的微观世界里,每一个细微的杂质都可能成为影响性能的 “致命杀手”。半导体行业数据显示,芯片生产中 80% 以上的工序依赖化学处理,而水作为化学处理的核心介质,其质量直接决定着芯片的良品率与性能上限。哪怕很微量的金属离子、有机物残留,都可能引发短路、腐蚀等问题,导致器件性能下降、产量锐减。因此,超纯水成为芯片生产线的 “生命线”。
传统超纯水制备依赖离子交换树脂技术,通过树脂吸附水中离子实现净化。但这一工艺存在明显短板:树脂吸附饱和后需频繁再生,不仅要消耗大量酸碱再生剂,还需投入大量人力进行操作与维护,不仅成本高昂,再生过程产生的废水还会对环境造成污染,难以满足芯片制造对效率与环保的双重要求。
EDI 超纯水设备的出现,彻底革新了超纯水制备工艺。它采用 “反渗透设备 + EDI + 抛光混床” 三级净化体系:反渗透设备先去除水中大部分盐分、有机物与颗粒物;EDI 模块通过电渗析与离子交换的协同作用,在电场驱动下将残余离子高效迁移去除,无需酸碱再生;最后经抛光混床深度提纯,使出水电阻率稳定达到 18.2MΩ・cm 以上,近乎完全去除水中导电离子,满足芯片制造对水质的高要求。
这套设备的智能化与自动化更是一大亮点。通过传感器实时监测水质参数,自动调节运行状态,不仅大幅减少人工干预,还能保障水质长期稳定。同时,EDI 模块很低的废水率,相比传统工艺节水超 50%,显著降低了水资源消耗与排污压力,兼顾了经济效益与环境效益。
在芯片制造的 “逐微” 之路上,EDI 超纯水设备以技术突破打破行业瓶颈,成为保障芯片性能与产能的关键一环。从晶圆清洗到光刻蚀刻,每一道工序都因它的助力而更稳定可靠。未来,随着芯片制程向纳米级甚至埃级迈进,EDI 超纯水设备也将持续升级,为半导体产业的发展筑牢水质根基。
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