好马配好鞍 超纯水助力半导体产业发展

 　　众所周知，半导体广泛应用于集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率功率功率变换等领域。大多数电子产品，如计算机、智能手机或数字录音机的核心部件，都与半导体密切相关。无论是从科学技术还是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。

　　由于半导体相关基础设施建设周期长、技术要求高，企业必须制定一套长期战略。某些领域的一些公司竞相开发先进技术，在半导体行业市场上展开竞争。为了进一步推动数字革命，我们需要更强大的计算和存储能力。换言之，便是更先进的半导体，制造更先进的半导体的基础就是用更高的水质，因此超纯水已经成为企业竞争的制胜法宝。

　　超纯水(UPW)是指电阻率达到18 MΩ·cm(25℃)的水。这种水中除了H2O外，几乎没有什么杂质或其他离子。超纯水可以分为国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质标准》。在半导体的生产过程中，几乎每道工序需要超纯水进行清洗，可见超纯水在半导体行业的重要性。

　　传统的超纯水处理方式为离子交换树脂，其工艺流程为：

　　原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床( 复床) →纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　但是传统工艺缺点是浪费资源、需要酸碱再生，且不环保。为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量，超纯水设备在工艺设计上，取自来水为原水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等。

　　超纯水设备具有良好的应用价值，可实现自动控制，在一定程度上可以有效地达到我国电子水质标准，与传统工艺相比，具有自动化程度高，过程易实现自动控制，产水水质稳定等优势。

　　制造半导体需要大量的水，水资源管理对半导体工业至关重要。因此，随着人们需求的不断增长，超纯水成为了半导体行业发展的重中之重，对我国半导体产业的长远发展也具有重要意义。