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多晶硅超纯水设备结构组成及本质原理

文章出处:作者:发表时间:2013-10-11 15:05:22

  由于多晶硅清洗过程中采用的水质非常高,因此传统水处理技术并不能够达到要求,因此多晶硅超纯水设备大多都采用EDI技术作为核心处理技术。

  多晶硅超纯水设备采用技术本质原理

  EDI又称连续电除盐(EDI,Electro deionization),是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子,同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下,分别透过阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的,因此不需要使用酸和碱对之再生。

  这一新技术可以替代传统的离子交换装置,生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地描述如下:EDI是利用阴、 阳离子膜,采用对称堆放的形式,在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂,分别在直流电压的作用下,进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下,水会发生电解产生大量H+和OH-,这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换—再生,使得纯水度越来越高,所以,轻而易举的产生了高纯度的高纯水。

  多晶硅edi 制水系统结构组成

  设备设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守。

  由于各用户的采用原水水质不同,因此超纯水生产设备也可根据用户实际情况,经过特别设计,使设备出水水质更加可靠。