电子光电行业超纯水水质要求及制水流程
文章出处:作者:发表时间:2013-08-15 15:54:22
光电行业生产产品一般包含LED,触摸屏等,生产这些产品过程中需要采用大量的纯水,并且此类光电光学产品对水质要求十分高,光电工业超纯水出水水质一般需要达到下述要求:
电阻率:产水点>15兆欧以上。
SiQ2: <10ppb
TOC: <50ppb
PH:6.5-8
硬度:<6dh
金属阳离子:<1ppb
纯水等级满足EW-2(GB/T11446.1-1997)
电子光电行业超纯水系统一般采用下述流程:
原水箱—原水泵—砂滤器—碳滤器—软水器—精密过滤--反渗透—纯水箱—混床提升泵—混—超纯水设备—核能级混床--用水点
原水箱—原水泵—砂滤器—碳滤器—软水器—精密过滤--反渗透(或双级反渗透)—纯水箱—EDI提升泵—EDI系统—超纯水箱—核能级混床—用水点
根据用水水质要求,电子光电行业超纯水处理系统一般采用反渗透+EDI+核能级混床工艺的较多,这种工艺出水水质均能达到15兆欧以上,水质可通过增减配套工艺设备进行调整。