电子芯片清洗用水之混床技术的运用

　　混床是混合离子交换柱的简称，是针对离子交换技术所设计的设备。所谓混床，就是把一定比例的阳、阴离子交换树脂混合装填于同一交换装置中，对流体中的离子进行交换、脱除。

　　混床的分类：混床按再生方式分可分为体内再生混床、体外再生混床、阴树脂外移再生混床三种。

　　1、体外再生混床适合小流量、对环保有严格要求的企业。但由于体外再生式混床配套设备多，操作复杂，现在已很少使用。

　　2、体内再生混床和阴树脂外移再生混床适合大流量，有专门的水处理操作人员及废水处理的场合。体内再生混床在运行及整个再生过程均在混床内进行，再生时树脂不移出设备以外，且阳、阴树脂同时再生，因此所需附属设备少，操作简便。

　　3、阴树脂外移再生混床：阴树脂外移再生式混合床及其配套的阴树脂再生柱基本构造与小型逆流再生固定床大致相同，阴树脂再生柱厚度较混合床小，所需的膨胀高度为树脂层高度的50%～60%，故再生柱可较低，但一般为统一起见做成与混合床相同。

　　电子工业超纯水设备制取纯水应用混床技术的优点：

　　(1) 出水水质优良：一般用强酸、强碱树脂装填的混合床，出水含量在1mg/L以下，电导率小于0.1～0.2?g/L左右，出水pH值接近中性。

　　(2) 出水水质稳定：短时间运行条件变化(如进水水质或组分、运行流速等)对混床出水水质影响不大。

　　(3) 间断运行对出水水质的影响小，恢复到停运前水质所需的时间比较短，一般只要3～5分钟。

　　(4)交换终点明显：混床在失效前，出水电导率上升很快，这有利于失效监督。