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触摸屏清洗超纯水设备去除杂质方法分述

文章出处:作者:发表时间:2013-04-09 11:21:41

  就触摸屏清洗而言,对水质的要求是很高的。它不仅要求水质的纯度,更对给水杂质去除效果要求严格。

  选择触摸屏清洗用超纯水设备的必要性

  超纯水在电子工业主要是触摸屏,线路板、电子元器件生产中的重要作用日益突出,超纯水水质已成为影响触摸屏,线路板、电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一,水质要求也越来越高。在触摸屏电子元器件生产中,超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料,不同的触摸屏幕电子元器件生产中纯水的用途及对水质的要求也不同。

  触摸屏清洗超纯水设备去除杂质方法

  1、溶解的无机盐

  有钠、钙、镁等盐类,溶于水形成正离子。含有这些离子的水冲洗半导体器件时,会使这些不纯物扩散到集成电路表面,造成短路。过去除去水中无机盐是将水蒸馏,但就是三次重蒸馏水,水的电阻率仅3兆欧—厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl。最近有用反渗透法去离子。所以要用离子交换树脂。阳离子交换脂和阴离子交换树脂分别使用,易于再生,混合床离子交换树脂用在离子交换的终级,起把关的作用。这样出来的水可达18兆欧—厘米(25摄氏度)。

  2、溶解的有机物

  有工业排出污物、洗涤剂、生物分解物和微生物的新陈代谢产物。这些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于离子交换树脂之前,因活性炭本身会带来杂质。必须注意,进入树脂床的水要先除去有机物,因为离子交换树脂易为有机物(如腐殖酸)污染。反渗透可除去分子量大于300的有机物,分子量小于300的有机物可除去90%。

  3、粒子物质

  很多地方都容易产生,如炭床、树脂床、深层过滤等一些设备。虽然用一些方法使达到高电阻率,但没有有效地除去粒子物质。这就会使半导体器件出现针孔、短路、断路、内部击穿和光致抗蚀剂脱落等缺陷。除去粒子物质,只有用膜滤,一般标准用孔径为0.45微米的微孔滤膜,特殊需要用孔径为0.22微米的微孔滤膜,除去胶体铁、胶体硅和小细菌。反渗透也能除去小粒子。

  4、微生物

  可看作粒子态物质。但微生物在适宜条件下会迅速繁殖。在炭床和树脂床内,当有机物积累较多时,微生物繁殖特别迅速。倘若不限制在一个范围以内,就会妨碍炭滤的进行和严重污染离子交换树脂。甚至当水分蒸发时,在炭床和树脂床内,由于微生物的代谢产物而形成硬膜。对于离子交换树脂,再生时用强酸、强碱可以杀死细菌等微生物,若再生周期长,效果就要差些。对混合树脂床,微生物的处理则比较麻烦。