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超纯水设备成为行业重要基石 有效提高半导体成品率

文章出处:莱特莱德作者:莱特莱德发表时间:2022-07-30 21:28:41

  近年来,中国的半导体产业发展迅速。作为科技产业的底层支撑和未来科技发展的基石,其发展趋势受到了社会各界更多的关注,在智能电子、玩具、新能源汽车、人工智能等方向都有重要应用。由于半导体相关基础设施的建设周期长、技术要求高,企业必须制定长期战略,某些细分领域的企业争相开发更优质的工艺,参与半导体产业市场竞争。为了进一步推进数字革命,需要更强大的计算和存储能力,换句话说,需要更优质的芯片。制造更优质的芯片的基础是使用更高的水质,而超纯水已成为企业竞争的制胜法宝。

  超纯水的水质直接关系到半导体成品率

  在半导体生产中,超纯水可用于晶圆漂洗、化学稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等。超纯水的质量直接关系到半导体的成品率,随着半导体元件尺寸的缩小和细度的提高,对超纯水质量的技术要求也在不断提高。

  在超纯水生产过程中,只要微粒子、电阻率和TOC与气泡中的某一指标稍有差异,就会使半导体元件生产的合格率下降。

超纯水设备

  超纯水设备发展前景广阔

  传统的超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂制备,但离子交换树脂停止生产需要树脂再生,高能耗也增加了劳动力成本。经过多年的实践,超纯水设备结合膜分离技术,利用反渗透结合EDI装置制备超纯水,出水电阻率可达18.2MΩ.cm(25℃),满足半导体生产用水的需求。同时,设备还配备了反渗透预脱盐技术,以确保设备的出水水质。同时,EDI处理装置产生的废水较少,不会污染环境,具有较高的环境效益和经济效益,具有广阔的发展前景。

  超纯水设备具有连续出水、无需酸碱再生和无人值守、安装简便、操作方便等优势,出水水质符合电池用水相关标准,为半导体用水保驾护航。随着超纯水设备技术不断完善,开启了各行业生产发展的新局面。许多企业在生产过程中对水质纯度有不同的要求,并得到了广泛的应用,如清洗设备用水、精密产品生产用水、检测用水等。

  结语

  作为半导体工业生产的重要基石,超纯水设备是半导体制造端的重中之重。超纯水设备改善了传统工艺阶段供水的缺点,配备了浓缩水置换的专业技术,防止微生物对膜系统的污染。通过完善的技术,提高系统回收率,降低能耗和运行成本。