超纯水对于芯片生产这么重要吗？

　　半个世纪以来，微电子技术迅速发展。随着信息技术的不断扩展和深化，芯片制造工艺制程已减小到 5nm 以下。芯片相当于电子行业的“大脑”。虽然只有指甲那么大，但需要在芯片板上放置数十亿个纳米级晶体管。在芯片生产过程中，80%以上的工艺需要化学处理，而每一种化学处理都离不开水。因此，芯片行业对生产用水的质量有着非常严格的要求，因为一旦水质不合格或水中含有杂质，就会降低器件的性能，降低成品率。芯片生产过程中需要水质达到超纯水标准。芯片行业使用的水是否合格也决定了产品能否合格出厂。因此，EDI超纯水系统已成为芯片行业的“决胜点”。

　　EDI超纯水系统通常由石英砂过滤器、活性炭过滤器、阻垢剂、精密过滤器等组成预处理系统、RO反渗透系统、EDI超纯水系统等组成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统，高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测和控制仪表，电气采用PLC可编程控制器，真正实现无人值守，使该超纯水工艺与其他工艺相比具有更高的性价比和设备可靠性。

　　EDI超纯水系统设计采用成熟、可靠、高度自动化的两级RO+EDI+抛光混床除盐水处理工艺，确保处理后的水电阻达到18MΩ.CM以上。反渗透预脱盐技术也安装在设备内部，再次从根本上保证了设备的出水质量。同时，EDI超纯水系统产生的废水量小，不会对环境造成污染，具有很高的环境效益和经济效益，具有广阔的发展前景。

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