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光伏产业兴起少不了超纯水设备

2022-11-14

  目前,我国已将光伏产业列为国家战略性新兴产业之一,在产业政策引导和市场需求驱动的双重作用下,我国光伏产业实现了快速发展,已成为具备国际竞争优势的产业,在制造规模、技术水平和市场份额等方面均位居全球前列。(新闻来源:贤集网)

  在光伏集成电路生产中,超纯水主要用于清洗硅片,少量水用于药水配制、硅片氧化的水蒸气源、部分设备的冷却水、电镀液的配制。集成电路产品的质量与产量密切相关。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良,重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低,III族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化,V族素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性恶化,水中细菌高温碳化后的磷(约占灰分的20%~50%)会使P型硅片上的局部区域变化为N型硅而导致器件性能变坏。水中的颗粒(包括细菌)如吸附在硅片表面,就会引起电路短路或特性变差。可见,超纯水在太阳能光伏电池行业中的必要性。

  传统的超纯水处理工艺为单级/双级反渗透设备+混床。其缺点是需要再生,不能连续产水,不仅效率低,而且浪费资源。莱特莱德经过多年实践,同时结合膜分离技术,采用反渗透加EDI相结合的工艺来制取超纯水,该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长),运行可靠。莱特莱德超纯水设备出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。

  莱特莱德超纯水系统中反渗透采用曲线微导力技术将水中的离子分离。实现净化水质,减少水中的离子,降低水中离子的含量的目的。结合预处理系统、加药系统等,可实现超纯水的预脱盐。

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