超纯水是保障电子级氢氟酸产品质量的关键

　　据数据显示，2021年全球半导体销售额达到5559亿美元，同比增长26.2%;中国的销售额为1925亿美元，同比增长27.1%，占全球份额的34.6%。更值得一提的是，2021年中国集成电路销售额突破万亿元，同比增长18.2%，达到惊人的10458.3亿元。

　　从上面这些数据不难看出，全球半导体行业，特别是中国的半导体行业，正处在一个爆发性增长阶段。这也意味着，氢氟酸等半导体化学品原材料的需求将会越来越大。电子级氢氟酸主要应用于半导体制造过程的清洗和刻蚀等工序，它的纯度和洁净度对集成电路的良品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

　　虽然近几年来我国电子级氢氟酸生产技术取得了重大突破，但要想反超美日德，仍还有很长的路要走。一方面，要“紧盯”高品质电子级氢氟酸制备的关键技术不撒手；而另一方面，则要“吃透”生产电子级氢氟酸的配套技术。

　　一般来说，生产电子级氢氟酸的配套技术主要包括分析控制与产品检测、超纯水技术、包装技术以及环境控制。而在这5种技术中，超纯水是保障其良品率的关键。超纯水既用于电子级氢氟酸的生产，又用于包装容器的超净清洗，其纯度的高低直接决定着电子级氢氟酸产品质量。

　　超纯水的生产离不开超纯水设备。超纯水设备设计采用成熟、可靠、高度自动化的两级ro+EDI+精混床除盐水处理工艺，确保处理后的水电阻和电电阻达到18MΩ.CM以上。厘米该设备能够连续稳定地制备高质量的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计相对紧凑，占地面积小，可为企业节省大量空间。半导体超纯水设备出厂前需进行压力试验。设备故障概率小，日常维护和维修操作非常简单。半导体超纯水设备还配备了反渗透预脱盐技术，再次从根本上确保了水处理设备的出水质量。