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我国电子工业部高纯水水质试行标准

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2010-12-11 08:17:55

我国电子工业部高纯水水质试行标准,沈阳EDI超纯水,大连EDI水处理

我国电子工业部高纯水水质试行标准

说明:①一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
   ②二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
   ③本表按1980年电子工业部标准摘录。

化学指标单位:μg/L

 序号

 水质项目

 一级高纯水指标

 二级高纯水指标

 1

 电阻率(25℃)MΩ·cm

 ≥15

 ≥10

 2

 电导率,μs/cm

 0.05

 0.1

 3

 PH

 6.8~7.2

 6.6~7.4

 4

 细菌总数,个/mL

 <3

 <9

 5

 微粒(直径>0.5μm,粒/mL)

 <150

 <300

 6

 二氧化硅

 <10

 <20

 7

 有机物(以COD计)

 <0.3

 <0.5

 8

 钠 Na

 <0.5

 <2

 9

 铁 Fe

 <1

 <2

 10

 铜 Cu

 <0.5

 <1

 11

 钙 Ca

 <1

 <3

 12

 镁 Mg

 <0.2

 <1

 13

 锌 Zn

 <0.5

 <1

 14

 锰 Mn

 <0.2

 <0.5

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