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电子工业制水技术方案及水质需求标准

文章出处:作者:发表时间:2013-09-06 14:42:32

  在电子,半导体行业中零件生产过程中需要大量的纯水,如水质没有达到相应的标准,则会对电子器件的品质产生影响,因此注重水质标准极为重要。

  一般在沈阳电子超纯水设备中,都通过使用超滤、反渗透、EDI和核子级离子交换系统来生产满足需求的超纯水。并将生产过程中所产生的废水经过膜系统的处理进行回收再利用,在很大程度上减少了电子、半导体行业的用水量、降低了生产成本。

  微电子行业包括了电解电容器生产、电子管生产、显像管和阴极射线管生产、黑白显像管荧光屏生产、液晶显示器的生产、晶体管生产、集成电路生产、电子新材料生产等生产工艺,都需要工业超纯水。传统化学及介质过滤生产超纯水的方法,会因在水中添加各种化学剂,制备过程冗长等各种因素造成产水的不稳定,无法确保长期、稳定的超纯水。

  采用物理净化法(超滤→反渗透→EDI→抛光混床),使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器等发生了一次革命,从此进入了一个无需再生化学品的时代。电子超纯水系统膜法制备出来的工业纯水,其纯度可达到18MΩ·CM。

  电子工业高纯水水质标准

项目

级别

比电阻 MΩ.cm@25℃

≤ μg/L

>1μm微粒数 < /ml

细菌个数/ml

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤μg/L

≤ g/L

≤ μg/L

硝酸根
μg/L

磷酸根
μg/L

硫酸根 ≤μg/L

总有机碳≤μg/L

EW-Ⅰ

18(95%的时间不低于17

2

0.1

0.001

0.2

0.2

0.1

0.5

0.5

1

1

1

1

20

EW-Ⅱ

15(95%的时间不低于13

10

5

0.1

1

1

1

2

2

1

1

1

1

100

  一般在电子行业所需的超纯水水质都需要符合上述标准,由反渗透技术+EDI技术组合而成的沈阳电子级超纯水设备,非常适用于电子行业纯水的制备。

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