工业用高纯水制取标准及水质级别

　　1、主题内容与通用范围

　　本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。

　　本标准适用于去离子处理后的高纯水。

　　2、引用标准

　　GB11446电子级水及其检测方法

　　3、工业用高纯水的级别

　　(1)工业用高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水，分别用符号EH和pH标志。

　　(2)电子级高纯水

　　(3)在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有如下特点：

　　a.具有精细图形结构;

　　b.对器件表面有特殊要求;

　　c.工艺对水质有特定的严格要求。

　　(4)电子级高纯水分为两个级别：特级和I级。它们的标志分别是：

　　特级电子级高纯水：EH—T

　　一级电子级高纯水：EH—1

　　(5)普通高纯水

　　(6)普通高纯水用于一般电力半导体器件的制造工艺中。

　　(7)普双高纯水分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级。它们的标志分别是：

　　I级普通高纯水：pH—Ⅰ

　　x级普通高纯水：PH—Ⅱ

　　m级普通高纯水：pH—Ⅲ

　　(8)电阻率低于5MΩ·cm的水不能称为高纯水。

　　4、技术要求

　　5.1电子级高纯水

　　5.1.1电子级高纯水应考核四项内容：

　　a. 水中自由离子浓度(主要影响电阻率);

　　b.水中悬浮微粒的数量和大小;

　　C. 水中有机物总量;

　　d. 水中细菌微生物状况。