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电子行业用超纯水设备行业应用

文章出处:EDI水处理作者:EDI水处理发表时间:2013-04-03 10:43:05

  目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质,同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一。半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。

  电子行业用超纯水的工艺流程

  1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:

  原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

  2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙、碳过滤器→精密过滤器→反渗透设备→原水箱→纯水泵→混床→后置精密过滤器→纯水箱→用水点

  3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙、碳过滤器→保安过滤器→一级反渗透设备→原水箱→二级反渗透设备→纯水泵→电去离子(EDI)→纯水箱→输送泵→UV灯→精混→精密过滤器→用水点

  4、采用反渗透+混合床方式,其流程如下:

  原水→原水加压泵→砂、碳过滤器→保安过滤器→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔过滤器→用水点

  电子行业用超纯水设备适用行业

  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

  2、超纯材料和超纯化学试剂;

  3、实验室和中试车间;

  4、汽车、家电表面抛光处理;

  5、光电产品、液晶显示器

  6、其他高科技精微产品;

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