如何清洗晶圆超纯水设备中的EDI浓水室

　　晶圆超纯水设备中的EDI模块在经过一段时间的使用后，浓水室会出现结垢的现象，结垢后就会影响到晶圆超纯水设备的正常产水，这时就需要对浓水室进行清洗，那么晶圆超纯水设备的EDI浓水室怎样清洗呢？

　　1、记录晶圆超纯水设备清洗前所有数据。

　　2、连接清洗装置，使清洗泵通过浓水管路进入EDI模块再回到清洗水箱，浓水进、出阀开启，关闭EDI淡水进水阀和产水阀。

　　3、在晶圆超纯水设备清洗水箱配置2%浓度的盐酸清洗液，启动清洗泵，调节浓水进水阀，以规定的流量循环清洗。

　　4、停止清洗泵，排除清洗水箱清洗废液，分离浓水排水阀至地沟，向清洗水箱连续注入清洗，启动清洗泵连续清洗。

　　5、打开EDI进水阀和产水阀，同时对两个水室进行冲洗，检测浓水出水侧的水质，直至与进水侧电导率相近。

　　6、各个阀门，恢复原始各设备流量数据，恢复EDI各个管路与其他系统的连接。

　　7、开启PLC控制电源柜，向EDI模块送电，转入正常运行，并作好初次运行的数据记录。

　　以上就是小编为大家介绍的全部内容，希望对大家有所帮助。

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