集成电路超纯水设备中膜元件出水有异味的原因是什么

 　集成电路超纯水设备是集成电路生产过程中制取纯水的主要装置之一。集成电路在生产过程中，每个阶段结束之后都需要用水冲洗，集成电路属于精密仪器，所以对清洗用水要求较为严格，如果水中含有任何杂质，都会导致生产的产品性能变差甚至会导致电路导管堵塞，生产产品无法使用。集成电路超纯水设备中膜元件出水有异味主要存在以下几个方面的可能性：

　　1、来源于原水。原水有异味如杀菌剂味，建议在反渗透前加活性炭过滤器，如果已经有活性炭过滤器，请更换质量较好的活性炭滤料（较低要求采用果壳原生活性炭）。

　　2、源于预处理设备污染。当原水含泥量比较大的时候，如果反洗不彻底时，则系统内微生物滋生，时间一长就有异味。这时建议添加次氯酸钠杀菌剂。

　　3、源于集成电路超纯水设备污染。当反渗透膜元件使用时间较长，有可能产生泥腥味，请加强碱洗，同时使用杀菌剂进行杀菌，特别严重时更换膜元件以及对压力容器进行彻底擦洗和冲洗。

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