多晶硅生产用超纯水设备执行标准

　　多晶硅生产用超纯水设备主要应用在多晶硅加工生产方面。多晶硅是组成电光制品的重要原料，该设备采用国外进口膜元件和EDI模块，有效处理水中的各种的杂质，完全满足该行业的用水需求。

超纯水设备

　　多晶硅生产用超纯水设备工艺

　　预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

　　多晶硅生产用超纯水设备特点

　　①稳压范围宽，输入电压变动±20%仍可正常使用。

　　②效率高，产品具有功率因素校正电路，功率因数可达0.98以上。

　　③输出电压电流连续可调，稳压稳流自动切换。

　　④负载由最小至最大值的稳流变化小于0.1%。

　　⑤安全性能高，输出端可任意短接不会造成机器损坏，且短接电流可由零至最大值连续调整。

　　⑥采用先进的高频脉宽调制技术，具有稳定度强、精度高，体积小、重量轻、功耗低等特点。

超纯水设备

　　多晶硅生产用超纯水设备执行标准

　　1、《GB/T11446.1-1997——中国电子行业超纯水国家标准》

　　2、欧盟电子级超纯水标准

　　3、美国ASTM-1997E电子行业超纯水标准

　　4、注明：其它标准均符合各行业清洗用水下属内控用水标准

超纯水设备

　　多晶硅生产用超纯水设备大大节省人力成本和维护成本，水利用率高，运行可靠，经济合理。使多晶硅生产用超纯水处理设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

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