微电子工业超纯水设备基本工艺流程

　　微电子工业超纯水设备是微电子工业的重要设备之一，通常由钠离子过滤器、活性炭过滤器、精密过滤器等组成，为微电子工业提供所需的合格水质。

超纯水设备

　　微电子工业超纯水设备工艺流程

　　1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：

　　原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：

　　原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：

　　原水→沙炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点

超纯水设备

　　微电子工业超纯水设备特点

　　1、连续运行，产品水水质稳定。

　　2、容易实现全自动控制。

　　3、无须用酸碱再生。

　　4、不会因再生而停机。

　　5、节省了再生用水及再生污水处理设施。

　　6、产水率高(可达95%)。

　　7、无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施。

　　8、占地面积小。

　　9、使用安全可靠，避免工人接触酸碱。

　　10、降低运行及维护成本。

　　11、设备单元模块化，可灵活的组合各种流量的净水设施。

　　12、安装简单、费用低廉。

超纯水设备

　　微电子工业超纯水设备水质标准

　　我公司电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

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