超纯水设备助力硅晶圆提高“纯度”

 　　半导体材料的市场规模不算很大，但其内部材料种类繁多，单一产品市场规模小、技术要求高、子行业之间差异较大。其中硅片占比半导体材料市场销售额高达36.6%，是晶圆厂采购材料中重要的环节。

　　硅材料因其具有单方向导电特性、热敏特性、光电特性、掺杂特性等优良性能，可以生长为大尺寸高纯度晶体，且储量丰富、价格低廉，故而成为全球应用广泛、重要的半导体基础材料，并发挥着重要的行业支撑作用。

　　硅晶圆是硅元素进行纯化之后的一种化工材料，在制造电路的实验半导体当中，经常会使用到这种材料。目前全球半导体市场中，90%以上的芯片和传感器都是基于硅材料制造而成，广泛应用于IC、LED、MEMS、分立器件等领域。

　　硅晶圆对纯度要求极高，因此对于水质也有着超高的要求，超纯水设备生产的水质可满足行业用水需求。超纯水设备采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备相结合的方式来制取超纯水，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，与传统方法相比，该设备具有以下优势：

　　1、无需使用任何再生化学品进行再生。用EDI水处理过程中不需要添加任何化学品，减少了化学品运输问题，同时降低了系统运行费用。

　　2、无需中和药剂。EDI膜块不会有酸碱废液产生，所以不需要酸碱中和池，一般情况下，EDI水处理系统产出的浓水完全可以回收再利用。

　　3、整套系统运行成本较低。EDI水处理设备主要是消耗电量来维持系统运行，其耗电量比传统混床工艺低。

　　我国是消费电子产品的生产国、出口国和消费国，在国家政策的扶持下，我国众多电子企业纷纷开发硅晶圆研发新工艺，加上超纯水设备的助力，能够保证硅晶圆产品的质量，标志着我国硅晶圆产业的发展。