电力半导体器件用高纯水制取方法

　　随着时代的进步，电子产品已成为人们生活中不可缺少的必备品，生活水平的提高又使人们对电子产品的质量要求也越来越高。电子产品生产过程中，需要采用的水必须要达到电子级超纯水国家标准，水的质量与产品的质量有着直接的关系。

　　超纯水处理设备水质标准

　　电子级超纯水分为分成电子级和普通级，两者的标志分别为EH和PH。电子级的一般适用于制造工艺领域;普通级的一般适用于电力半导体器件的制造中。电子级的水又可以分为两个级别：特级(EH-T)和I级(EH-I);普通级的水则分为三个级别：I级(PH-1)、X级(PH-2)、M级(PH-3)。

　　全自动超纯水设备工艺组成

　　制取高纯水的设备通常由多介质过滤器、活性碳过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统，以及RO反渗透主机系统、EDI电除盐系统系统等构成主要设备系统。工艺流程为：预处理-反渗透渗出渗出-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象;原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了自动化运行。

　　电力半导体器件用高纯水制取设备可根据用户要求，在工艺及选材上进行设计，达到与同行业产品相比具有更高的性能，可靠性及性价比的设备。