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硅晶圆行业超纯水设备

硅晶圆行业超纯水设备

      1、进水水质: 市政自来水/地下水

      2、产水水质: 18MΩ

      3、产水流量: 100m3/h

      4、所需电源: 稳定电源380V 50HZ

      5、占地面积: 根据产水量设计

  项目设计说明:

  1、纯水系统主要包括预处理系统、RO系统、EDI系统、抛光处理系统以及远程控制系统、监控系统、水量计量系统和其他辅助系统。

  2、采用中央监控系统控制纯水系统的运行操作,控制模式采用PLC+上位机,采用CPU和服务器无缝冗余。

  3、不使用国家明令禁止的产品;对化学品的使用应有泄露应急措施。

  4、各级设备应具有余量、备用。

  5、系统自动运行,同时也可以切换为手动。

  6、采用节约用能设计。

  7、超纯水泵、EDI增压泵、RO高压泵、UF反洗泵、RO供给水泵采用变频器控制。

  8、原水直接来源于业主自行建设的水箱,不再单独建设原水箱。

  工艺流程:

硅晶源行业超纯水设备

  硅晶圆行业超纯水设备详细介绍

  1、预处理系统:预处理系统作为反渗透的前处理,主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物、硬度等妨碍后续反渗透运行的杂质。

  2、反渗透系统:反渗透系统承担了主要的脱盐任务。

  3、精处理系统:精处理系统主要功能是为了进一步除盐和去除水中的残余的TOC、溶解氧等。

  4、机台弱电系统:由UPS供电,可切换市电和电池逆变两种供电模式,额定功率满足控制系统负荷要求,切断电源独立负载控制系统时续航时间不小于30分钟,电池质保期3年以上。

硅晶源行业超纯水设备

  设计优势:

  1、降低能耗,减少化学药品的使用量,综合成本低。

  2、各个自动运行程序的工艺参数、控制参数可以在线设定。

  3、自动报警系统可分析各类故障并发出警报,显示故障点和故障状态。

  4、整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作。

  5、安装杀菌消毒系统,确保出水水质不受二次污染。

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