半导体行业用超纯水设备采用PLC+触摸屏控制，全套系统自动化程度高，系统稳定性高，大大节省人力成本和维护成本。水利用率高，运行可靠，经济合理。使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

　　半导体行业用超纯水设备工艺

　　预处理→UF系统→一级反渗透→PH调节→级间水箱→二级反渗透→中间水箱→中间水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→EDI装置→氮封水箱→增压水泵→抛光混床→循环增压泵→用水对象(≥18MΩ.CM)

　　半导体行业用超纯水设备特点

　　为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量，在工艺设计上，以符合国家自来水标准的水作为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、EDI系统、抛光混床等。 系统中水箱均设有液位控制系统、高压水泵设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

　　系统应用场合

　　☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路

　　☆电解电容器生产铝箔及工作件的清洗

　　☆电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液

　　☆显像管和阴极射线管生产、配料用纯水

　　☆黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水

　　☆液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液

　　☆晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制

　　☆集成电路生产中高纯水清洗硅片

　　☆LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏

　　☆高品质显像管、萤光粉生产

　　☆半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗

　　☆超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料

　　☆实验室和中试车间

　　☆汽车、家电表面抛光处理

　　☆光电产品、其他高科技精微产品